硅溶胶抛光液
★产品规格
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外观 |
粒径（nm) |
固含量(%wt) |
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乳白色悬浮液 |
10-180 |
20%-50% |
根据不同行业及客户实际生产工艺需求提供相应产品
★产品特点
- PDI分布窄、抛光效率高
- 抛光好表面粗糙度Ra＜0.2nm
- 高稳定的硅溶胶溶液使晶体表面具有高的平坦度且无晶向偏差
★应用领域
碳化硅、蓝宝石、氮化镓、铌酸锂、钽酸锂、砷化镓、磷化铟、硒化锌、锗片、硅片、精密陶瓷、精密光学、不锈钢等材料的超精密CMP抛光。
